Инструкция по эксплуатации Vaisala PTB210 (analog) — страница 8

РАЗДЕЛ 2

ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА

AISALA

Барометры PTB210 оснащены кремниевым емкостным датчиком абсолютного давления BAROCAP

разработанного Vaisala

Датчик характеризуется незначительным гистерезисом отличными характеристиками сходимости а также обладает превосходной температурной и долговременной стабильностью

Thin film metallization

Silicon

Vacuum gap

Silicon

Glass

Silicon diaphragm

Рисунок 2

Датчик давления BAROCAP

Датчик давления BAROCAP

® состоит из двух слоев однокристального кремния между которыми лежит слой стекла Более тонкий слой кремния создает интегрированную вакуумную эталонную камеру и формирует чувствительную к давлению кремниевую диафрагму Более толстый слой кремния является твердой пластиной-основой датчика и покрыт стеклянным диэлектриком Для формирования электрода емкости внутри вакуумной эталонной камеры вложена тонкая металлизированная пленка Другим электродом является чувствительная к давлению кремниевая диафрагма

Коэффициенты термического расширения кремния и стекла используемых в датчике давления BAROCAP

тщательно подобраны друг к другу с целью минимизировать температурную зависимость и максимально увеличить долговременную стабильность Датчик давления BAROCAP

предназначен для достижения нулевой температурной зависимости при 1000 гПа а его долговременная стабильность максимально увеличена за счет термического старения при повышенной температуре